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論文

Study of chemical etching conditions for alpha-particle detection and visualization using solid state nuclear track detectors

山田 椋平; 小田桐 大貴*; 岩岡 和輝*; 細田 正洋*; 床次 眞司*

Radiation Environment and Medicine, 8(1), p.21 - 25, 2019/02

固体飛跡検出器であるCR-39を用いたパッシブ型の測定器によってラドン・トロン及びその子孫核種を評価している。曝露後、CR-39は化学エッチング処理を行う必要がある。本研究では、この処理時間を短縮するためにCR-39の化学エッチング時間の短縮と、将来的な自動計数システムの導入を見据えたトラック直径(エッチピット直径)の拡大を検討した。最適なエッチング条件は、溶液濃度, 溶液温度及びエッチング時間を変えることによって決定した。その結果、最適条件(濃度, 温度, エッチング時間)は6M NaOH溶液, 75度, 10時間と決定された。これらの結果は、従来の化学エッチング時間の半分の時間で処理が完了することを示した。さらに、従来のトラック直径の拡大を考慮しなければ、より短いエッチング時間で処理を行うことが可能であることが示唆された。

論文

Influence of uranium enrichment on the etching rate of polycarbonate fission track detector containing uranium particles

Lee, C. G.; 井口 一成; 江坂 文孝; 間柄 正明; 桜井 聡; 渡部 和男; 臼田 重和

Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B, 245(2), p.440 - 444, 2006/04

 被引用回数:8 パーセンタイル:50.31(Instruments & Instrumentation)

保障措置環境試料中の極微細ウラン粒子の検出法として有効なフィッショントラック(FT)法では、ウラン粒子の検出効率は検出器の化学エッチング条件に大きく依存する。本研究では、核分裂性粒子含有FT検出器のエッチング挙動を調べる目的で、ウラン粒子を閉じこめたポリカーボネート製FT検出器を作製し、エッチング速度に対するウラン濃縮度の影響を調べた。エッチング速度は、エッチングによる検出器の重量変化から評価した。全体に、検出器の重量変化はウラン粒子の濃縮度に大きく依存し、高濃縮度のウラン粒子を含む検出器ほど重量減少は大きい。検出器の重量減少の挙動から、エッチング速度が異なる二つ領域の存在が明らかになった。エッチング初期の非線形挙動は、すべての検出器において飛跡が最初に現れるエッチング時間が非線形領域内にあることから、おもに飛跡の出現によると考えられる。その後の直線的な挙動は、出現した飛跡の拡大に対応している。また、粒子1個あたりに換算したエッチング速度は(濃縮度)$$^{2/3}$$に比例することがわかった。このような飛跡のエッチング挙動とウラン粒子の濃縮度との相関を利用することにより高濃縮度のウラン粒子だけを優先的に検出可能であることが示唆された。

論文

Study on the etching conditions of polycarbonate detectors for particle analysis of safeguards environmental samples

井口 一成; 江坂 木の実; Lee, C. G.; 伊奈川 潤; 江坂 文孝; 小野寺 貴史; 福山 裕康; 鈴木 大輔; 桜井 聡; 渡部 和男; et al.

Radiation Measurements, 40(2-6), p.363 - 366, 2005/11

 被引用回数:11 パーセンタイル:59.93(Nuclear Science & Technology)

保障措置環境試料のパーティクル分析において、フィッショントラック法による核分裂性物質を含む粒子の検出法はサブミクロン粒子まで対応できることから特に重要である。演者が開発した方法は、粒子をポリカーボネートフィルタの上に捕集した後、フィルタを溶解,乾燥してフィルム(検出器)にすることで粒子を検出器の中に閉じ込める。熱中性子照射した後、検出器をエッチングすることで粒子を検出する。この方法は操作が簡単であり、粒子を容易に高感度で検出することができる。しかし、エッチングにより、フィルムの表面近傍に存在している粒子が脱落する可能性があるので、適切なエッチング条件を決めることは重要である。今回は、エッチング時間とウランの濃縮度の関係を調べた結果、高濃縮度ほどエッチング時間を短くする必要があることがわかった。

論文

Role of UV light illumination and DMF soaking in production of PET ion track membranes

Zhu, Z.; 前川 康成; 越川 博; 鈴木 康之; 米澤 宣行*; 吉田 勝

Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B, 217(3), p.449 - 456, 2004/05

 被引用回数:20 パーセンタイル:76.55(Instruments & Instrumentation)

イオン穿孔膜の電子デバイスや分離膜への応用を目的に、イオン穿孔膜微細孔の孔径分布を小さくする(均一な微細孔を作る)ため、イオンビーム照射後のポリエチレンナフタレート(PET)膜への紫外線照射効果、DMF等の有機溶媒への浸蹟効果について検討した。波長が310nm以上の紫外線照射と30分以上のDMF処理を組合せることで、イオンビームダメージ領域のエッチング感度が25倍向上し、孔径が50nm以下の円柱状孔が作製できることを見いだした。

論文

SR励起加工

寺岡 有殿

ナノテクノロジー大事典, p.340 - 351, 2003/12

我が国における放射光を用いた微細加工の研究の現状をレヴューした。SR励起加工を大項目とし、その下に中項目としてSR励起表面改質,SR励起結晶成長,SR励起エッチングを設けた。中項目のSR励起表面改質の下に小項目としてSRガス励起表面改質とSR直接励起表面改質を設け、中項目のSR励起結晶成長の下に小項目としてSR励起原子層エピタキシーとSR励起化学的気相成長を設け、中項目のSR励起エッチングの下にSR直接励起エッチング,SRガス励起エッチングとSRアブレーションを設けてレヴューした。

論文

Nd:YVO$$_{4}$$ and YVO$$_{4}$$ laser crystal integration by a direct bonding technique

杉山 僚; 福山 裕康; 勝間田 正基*; 岡田 幸勝*

Integrated Optical Devices: Fabrication and Testing (Proceedings of SPIE Vol.4944), p.361 - 368, 2003/00

高ピーク出力レーザーに用いられているNd:YVO$$_{4}$$結晶に母結晶のYVO$$_{4}$$を接合して、熱除去特性の優れた集積型レーザー結晶の作成を行なった。われわれの接合法は、光学研磨後の結晶表面をドライエッチング処理した後に、結晶の融点以下の熱処理によって、接合界面の水素結合を酸素を架橋とした直接接合に転嫁させる方法である。光学研磨の表面粗さは、633nmにおいて0.2波長であった。アルゴンイオンビームによる約30nmのエッチング後、サンプルを清浄雰囲気下でコンタクトし、真空加熱炉内で50時間の熱処理を行なった。接合部の評価については、界面で生じる散乱光の測定を行なった後に出力20Wの半導体レーザー励起によるレーザー発振試験を行なった。この実験の結果、接合界面の散乱光強度は結晶内部の欠陥部から生じる散乱光強度よりも小さいことがわかった。さらに、熱伝達特性が改善された集積化型の接合結晶は、通常の結晶で引き起こされるような熱破壊を生じることなく、レーザー出力を約2倍増加できることが明らかとなった。

論文

On ion track geometry in the etching process

J.Vacik*; J.Cervena*; V.Hnatowicz*; S.Posta*; D.Fink*; 楢本 洋; 小林 慶規*; 平田 浩一*; P.Strauss*

Radiat. Eff. Defects Solids, 147, p.177 - 186, 1999/00

高エネルギー重イオン入射による高密度電子励起の結果形成されるトラック構造の化学エッチング過程について、$$alpha$$-粒子透過法によって詳細に解析した結果の報告である。試料としては、ポリエチレン・テレフタレート(PETP)を用い、11.4MeV/nPb$$^{+}$$イオンを極めて少量照射後(10$$^{7}$$/cm$$^{2}$$)、LiOH溶液中で、イオンの通過した飛跡(イオントラック)をエッチングした。エッチング時間の関数として、透過$$alpha$$粒子のエネルギー・スペクトルを計測し、モンテカルロ・シミュレーションの結果と対比して、トラックのサイズ、試料表面からの傾斜角等のパラメータを評価した。

論文

Large coherent structure formation by magnetic stretching term in two-dimensional MHD turbulence

石澤 明宏*; 服部 裕司*

Journal of the Physical Society of Japan, 67(12), p.4302 - 4303, 1998/12

 被引用回数:7 パーセンタイル:51.28(Physics, Multidisciplinary)

電磁流体乱流は太陽風、トカマクのディスラプション時などにみられる、非常に乱雑なプラズマの流れである。電磁流体乱流の特徴は、自己組織化によって、この乱雑な構造の中に秩序的な構造が現れることである。電磁流体乱流の複雑性はその非常に強い非線形性に起因する。この非線形性を生じさせる非線形項は、電磁流体方程式の中にいくつかある。これらの非線形項の中でどの項が自己組織化に寄与しているのかを調べ、自己組織化の過程を理解することが論文の目的である。トカマクプラズマのような、強いトロイダル磁場がある場合、プラズマの運動はその磁場に垂直な面内に限られ二次元的になるので二次元電磁流体の乱流を考える。そして乱流の統計理論を用いて解析を行った。その結果、電磁流体方程式の中の磁場の引きのばし項によって秩序構造が生成されることを明らかにした。

報告書

LiTaO$$_{3}$$結晶のX線による評価

塩飽 秀啓; 依田 芳卓*; 原見 太幹; 菊田 惺志*; 大野 英雄

JAERI-Research 94-032, 44 Pages, 1994/11

JAERI-Research-94-032.pdf:2.96MB

6.21keVのエネルギーを取り出し、核共鳴散乱光学素子となりうるリチウムタンタレート(LiTaO$$_{3}$$)結晶の結晶性について、放射光X線を用いて行った。その結果、市販されている結晶(SAW(Surface Acoustic Wave) grade結晶)では、回折強度曲線の半値幅が40秒もあり、また結晶表面には多くの歪みが存在し、核共鳴散乱光学素子として相応しくないことが分かった。しかし、結晶に化学処理を施し、表面近傍の歪み層を取り除くと、歪みのある結晶構造に変わりはないが、半値幅が5秒程度の領域が現われ、核共鳴散乱光学素子として充分利用できることが分かった。

論文

Elution of residual ions with etching of heavy ion-injected polyimide

古牧 睦英; 石川 二郎; 桜井 勉; 松本 安世*

Radiat. Meas., 23(4), p.725 - 729, 1994/00

 被引用回数:0 パーセンタイル:0.01(Nuclear Science & Technology)

一定図形のマスク越しにポリイミドに重イオンを多重照射しエッチングすると、一定深さの溝を持つ図形が形成される。重イオン照射・エッチング法による微細加工が可能となる時、図形形成後の溝中に残存するイオン量を知ることが重要となる。特に絶縁体のポリイミドが電子部品に応用される時、絶縁性能が影響される。しかし、現在、イオンを一個づつポリイミド中で計測する方法はない。そこで、注入イオンを放射化し、エッチングに伴って溶出して残るポリイミド内放射能を測定し、エッチングと注入イオン、残存イオンとの関係を調べた。~16$$^{2}$$/cm$$^{2}$$のイオン注入に際しては、イオンの飛程の深さの計算値より10%余分に溶解すると、残存放射能は検出感度以下となることが分った。

論文

Staining with UF$$_{6}$$ on fission tracks in polyvinylidene fluoride

古牧 睦英; 大津 仁; 石川 二郎; 桜井 勉

J.Electron Microsc., 31(2), p.191 - 193, 1982/00

PVDFのFFトラックを電顕観察するに先立って、アルカリエッチングしたporousなフィルムとエッチングしない貫通孔の無いフィルムとについて、それぞれUF$$_{6}$$およびRuO$$_{4}$$等の活性物質を作用させて、トラック部分に局所的に反応したとき、その電顕観察に及ぼす効果を検討した。porousなフィルムではUF$$_{6}$$によって電顕像は著しく鮮明になったが、エッチングしないフィルムでは反応条件を更に改良する必要が認められた。RuO$$_{4}$$によるそれぞれのフィルムに対する効果は、UF$$_{6}$$ほど、顕著ではなかった。

論文

Observation of nuclear track development in polyvinylidene fluoride with several etchants

古牧 睦英; 大津 仁

J.Electron Microsc., 30(4), p.292 - 297, 1981/00

PVDFのFFトラックを種々なエッチング剤で処理し、電顕で観察した。アルカリ液では確実にトラック像の現出を認めることができたが、アルコールの添加はエッチング速度を増加させず、時間をかけても像の拡大は認められないことが分った。重クロム酸カリウムの硫酸溶液でも、長時間の末にもトラック像は認められなかった。過マンガン酸カリウム液では、フィルム表面にMnO$$_{2}$$らしい薄層が形成され、トラック像の確認がさまたげられた。有機溶媒による場合について、その溶解機構とトラック現出について若干考察した。

論文

Growth of fine holes by the chemical etching of fission tracks in polyvinylidene fluoride

古牧 睦英

Nucl.Tracks, 13(1-2), p.33 - 44, 1979/00

酸素雰囲気中で核分裂片照射したポリフッ化ビニリデンフィルムを水酸化ナトリウム溶液でエッチングして孔の拡大をはかり、ガスの流れの測定と電子顕微鏡観察とによって孔径を測定した。半径方向のエッチング速度が極めて小さく、数百$AA$の直径に至るのに数十時間を要する。電顕によると、トラックの長さにそった貫通孔の径はかなり均一であり、またこのことは、ガスの流れの検討から得られたトラック長さにそったエッチング速度と半径方向のそれとの比が大きい結果とよく一致することがわかった。エッチングされて得られたトラックは電顕観察の結果、ある曲がりを持っていることがわかった。これはフィルムのガラス転位温度が低いために、主としてエッチング中の熱運動による変形のためであろうと推定された。水酸化カリウムによるエッチングは、かなりすみやかに孔径を拡大するが、濃度の高いところでは、ある種の析出物のために孔径拡大が、さまたげられることがわかった。

論文

Chemical etching of fission tracks in polyfluoro plastic

古牧 睦英; 辻村 重男

Science, 199(4327), p.421 - 422, 1978/00

 被引用回数:14

熱中性子によって得られたウラン-235の核分裂片を照射したポリフッ化ビニリデン樹脂を、5-10N水酸化ナトリウム水溶液中で、65-85$$^{circ}$$Cでエッチング処理した。酸素雰囲気中で照射した9$$mu$$厚みのフィルムに対する核分裂片トラックのエッチングの結果は、電子顕微鏡によって確認された。

論文

Growth of fine holes in polyethylenenaphthalate film irradiated by fission fragments

古牧 睦英; 辻村 重男

Journal of Applied Physics, 47(4), p.1355 - 1358, 1976/04

 被引用回数:13

核分裂片で照射したポリエチレンナフタレートフィルムを水酸化ナトリウム溶液で処理し、トラックを中心として生成する微細孔の生長過程を、気体透過測定からしらべた。直径100~1000$AA$の範囲においてエッチング速度は、ポリエチレンテレフタレートに比べて、おおむね1桁小さく、また陽イオン系ならびに陰イオン系の界面活性剤を添加した実験の結果、界面活性剤の種類によってトラック方向のエッチング速度と孔の半径方向のエッチング速度に対する影響が著しく異なることがわかった。

論文

Electron microscopy of fine holes in polyethyleneterephthalate films irradiated by fission fragments

古牧 睦英; 大津 仁; 出井 数彦; 辻村 重男

Journal of Applied Physics, 46(3), p.1155 - 1158, 1975/03

 被引用回数:6

ポリエチレンテレフタレートフィルムに核分裂片照射してのち化学的エツチングをほどこし現出せしめた微細孔を電子顕微鏡で観察した。透過型超高圧電顕によって、厚み6~9$$mu$$mのフィルムを直接観察した。孔密度と孔径とが計測され、前者は照射条件から、後者はフィルムを通過するガス拡散の測定値から算出された値と比較検討され、よい一致がみられた。

論文

Identification of Dislocations in NaF Crystals by Electrolytic Coloration and Chemical Etching

久保 和子

Journal of the Physical Society of Japan, 26(1), p.143 - 148, 1969/01

 被引用回数:5

抄録なし

論文

Identification of dislocation in NaF crystals by electrolytic coloration and chemical etching

久保 和子

Journal of the Physical Society of Japan, 26(1), p.143 - 148, 1969/00

抄録なし

口頭

イオンビームスパッタ蒸着法によるEr$$_{2}$$O$$_{3}$$高配向薄膜の作製

藤田 将弥*; 山口 憲司; 朝岡 秀人; Mao, W.*; 近田 拓未*; 鈴木 晶大*; 寺井 隆幸*

no journal, , 

Er$$_{2}$$O$$_{3}$$は、高温で安定かつ耐食性や絶縁性に優れ、核融合炉において、三重水素の拡散透過を抑制するための配管被覆用材料等として研究が進められている。従来のプラズマPVD法等で作製した1$$mu$$mほどの厚さのEr$$_{2}$$O$$_{3}$$膜の研究において、三重水素は膜中の細孔や結晶粒界を通して透過していくことが示唆されている。透過メカニズムの解明及び格段の透過抑制を図るため、Er$$_{2}$$O$$_{3}$$膜中の結晶粒界を制御した膜の作製が期待されている。本研究は、$$beta$$-FeSi$$_{2}$$の高品位膜の作製に成功した実績を有するイオンビームスパッタ蒸着(IBSD)法を用い、配向性の高い連続したEr$$_{2}$$O$$_{3}$$単結晶膜の作製条件の探索を目的としている。その結果、973Kで蒸着を行った場合、蒸着後に973Kを保ったまま加熱を継続することで配向性が良くなることが分かった。さらに、加熱を継続する時間に注目すると、加熱時間が長くなるほど配向性が良くなることが分かった。

口頭

イオンビーム穿孔を用いた金属ナノニードルの作製

越川 博; 山本 春也; 杉本 雅樹; 喜多村 茜; 澤田 真一; 八巻 徹也

no journal, , 

数百MeVに加速した重イオンを高分子膜に照射し、アルカリ溶液で化学エッチングすると、直径が数十nm以上でさまざまな形状の穿孔を作製できる。本研究では、円すい状に制御した穿孔をテンプレートとして用い、蒸着法と電気メッキ法を組み合わせた新しい手法による金属ナノニードル作製を検討した。330MeVに加速した$$^{40}$$Arイオン(フルエンス: 3.0$$times$$10$$^{8}$$ ions/cm$$^{2}$$)を25$$mu$$m厚のポリイミド(PI)膜に照射した後、60$$^{circ}$$Cの次亜塩素酸ナトリウム(NaClO)溶液で30分エッチングすることにより表面直径500nmの円すい状穿孔を得た。その後、穿孔の内壁に金薄膜をスパッタ蒸着し、これを電極としてpH1に調整した1M硫酸銅水溶液を電解液として銅メッキを施した。NaClO溶液でPIテンプレートを溶解、除去し、走査型電子顕微鏡(SEM)により表面を観察したところ、銅基板上に直径500nm、高さ1.2$$mu$$mの銅ナノニードルを作製することができた。

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